无尘车间包括结构净化、空气净化、电气系统净化以及净化设备安装几个流程，其中，空气净化是无尘车间净化装修的核心，其净化装修质量直接影响无尘车间是否达标，同时，也影响无尘车间的使用周期。
但是无尘车间的空气净化流程是什么呢？
无尘车间的空气处理通常采用空气多级过滤+循环系统。什么意思呢？首先外部空气进入车间过滤，该阶段称为新风系统，在该处通常采用初级过滤，如有恒温恒湿要求的，则配置空调机组，该空气净化系统的目标主要对粒径大于等于5μm颗粒进行过滤，效率一般是80-90%。
经过初级过滤后的新风，再通过中级过滤系统实现大于等于1μm颗粒过滤，最后进入高级过滤，对大于等于0.3μm颗粒过滤，效率可达99.97%。
而气流组织设计有层流也叫单向流和非单向流。单向流有垂直或水平流，高效过滤器覆盖天花板或墙面，形成单向平行气流，主要用于手术室和精密电子装配线使用。而非单向流通过高效过滤器集中布置，扩散稀释污染物，适用于洁净度要求相对较低的区域。
形成稳定的高洁净度环境，需要对无尘车间的洁净区、非洁净区进行压差控制，形成洁净区大于非洁净区，压差大于等于5pa，洁净区和外界压差大于等于10pa。
同时，无尘车间的空气过滤系统的检测和维护也很重要。检测设备可采用粒子计数器、压差传感器以及温湿度传感器，而过滤设备的滤芯则定位更换，初效在1到3个月进行更换，而中效则半年到一年左右更换一次。高效过滤器在2到5年左右更换一次。
